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變異源分析培訓

培訓目標
學習變異源分析（SOV）的基礎理論和分析路徑
掌握變異源分析方法
提高實際生產和科研中變異源分析的能力
掌握如何在DMAIC的分析階段合理使用變異源分析的方法
使用Minitab 來進行變異源分析，變得方便容易

課程大綱
變異源分析介紹
1.變異源研究的重要性
2.SOV 研究的目的
3.分解總的變異源
4.變異性研究的二個類型
5.SOV 與持續(xù)改進的關系
6.SOV 研究的優(yōu)點與不足

Multi-vari 分析: SOV 的圖形化方法
1.Multi-vari Analysis (MVA) 介紹
2.SOV 的主要屬
3.變異屬的例子
4.分解方差的模型
5.一個Wafer加工廠的過程分析例子
6.Multi-vari 分析
7.MVA 分析的角色
8.MVA 怎樣實施
9.MVA 分析執(zhí)行指引
10.利用Minitab創(chuàng)建一個Multi-vari Chart
11.嵌套與交叉因子及應用

過程 SOV 研究
1.方差分析 (A*VA)
2.利用Minitab進行方差分析 (A*VA)
3.SOV 的量化：
4.計算方差組成
5.均方和（Mean Squares）
6.生成一個菜單(Recipe)的 SOV
7.實例分析

測量系統的 SOV 分析（計量型）
1.定義基本的測量術語
2.略述進行計量型測量系統SOV研究的程序
3.進行練習來實踐測量方法化
測量系統的SOV分析（計數型）
1.定義基本的測量術語
2.略述進行計數型測量系統SOV研究的程序
3.進行練習來實踐測量方法化
4.Kappa技術
5.改善屬性測量系統

A*VA
1.幾個概念
2.單因子方差分析
3.兩因子方差分析
相關性與回歸分析
1.定義并計算相關系數
2.討論相關性及因果關系
3.繪制并分析擬合直線圖
4.介紹回歸分析的基本知識
5.使用回歸分析技術建立數學預測模型

SOV 案例分析
1.SOV Standard Format Report
2.變異來源分析報告：HAI 大角度離子注入機
3.Source of variation report: sac3 Vtp bad uniformity
4.SOV Report :HVNATVT Trend & PW Implanter Performance

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